离子镀膜设备的工作是什么原理
分类:行业动态
发布时间:2023-02-13
离子镀膜设备起源于20世纪50年代D.M.Maiox提出的理论,且在当时开始有了对应的实验;直到1971年,Chamber等发表电子束离子镀膜技术;而反应蒸镀(ARE)技术则是在1972年的Bunshah报告所指出,此时产生了TC及TN等超硬质的薄膜类型;同样是在1972年,Smith和Moley在镀膜工艺中采用了空心阴极技术。到了20世纪80年代,我国离子镀终于达到工业应用的水准,相继出现了真空多弧离子镀及电弧放电型离子镀等镀膜工艺。
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