6 英寸 SiC 单晶质量对 GaN 外延薄膜的影响

分类：行业动态

发布时间：2022-05-17

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大直径高质量 SiC 衬底对提高 SiC 和 GaN 器件的良率、降低器件成本具有重要意义。然而，随着单晶直径的扩大，如何实现衬底片内单晶质量均匀性是亟需解决的问题之一。使用数值模拟软件构建了两种生长模型并研究其温场分布，模拟结果表明微凸温场生长的晶体外形更加平整。对两个批次的 6 英寸 ( 1 英寸= 2. 54 cm) SiC 单晶衬底分别进行了 ( 004) 面 X 射线摇摆曲线全图扫描，评价了衬底结晶质量，并在衬底上进行了 GaN 外延生长。结果表明，采用结晶质量好且均匀的 SiC 单晶衬底，外延生长的 GaN 质量更高。

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近日，第十二届中国创新创业大赛（辽宁赛区）暨2023年辽宁创新创业大赛行业赛启幕。中国创新创业大赛是全国范围内历史最久、规格最高、影响力最广的创新创业赛事。辽宁赛区比赛已成为省内科技企业融资对接、技术合作、成果转化的重要载体和平台。本届大赛累计吸引582家企业报名参赛，经过前期城市赛的激烈角逐，遴选出234家企业晋级全省行业赛。今年，省行业赛将按照新一代信息技术、高端装备制造、生物医药、新能源和新能源汽车、新材料、节能环保6大行业领域，分别在沈阳高新区、鞍山高新区、本溪高新区、锦州高新区、营口高新区以及盘锦高新区举行，最终选拔出75家行业内优秀企业。

辽宁省工信厅副厅长毛丰燕、市科技局副局长孙晓慧一行到鹏城微纳技术（沈阳）有限公司调研2023-08-11

近日，辽宁省工信厅副厅长毛丰燕、市科技局副局长孙晓慧一行5人来我司鹏城微纳技术（沈阳）有限公司开展实地调研，全面了解微纳项目开展情况，就鹏城微纳今后的发展路线、部委省市相关政策申报进行指导。随后由鹏城微纳吴向方先生带领团队陪同区委常委、副区长关浩，区科技局主要领导参观鹏城微纳生产制造中心，也为各领导进行了整体的公司介绍。

鹏城半导体&鹏城微纳亮相第十一届（2023年）中国半导体设备年会2023-08-09

2023年8月9日至11日第十一届(2023)中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛、第十一届半导体设备材料与核心部件展示会(CSEAC)将在江苏无锡太湖国际博览中心隆重举行。本届大会以“协力同芯抢机遇、集成创新造设备”为主题、围绕半导体行业最为关切的焦点和热点问题，展示支撑我国半导体产业发展的“设备”与“核心部件”取得的成就，研讨客观存在的重重困难和问题，探求当前和今后一段时期“破解”、“突围”的路径和方案。

鹏城微纳：助推沈阳微纳产业驶入发展快车道2023-07-27

“2022年3月注册，10月建厂，12月开始投产，企业估值5.5亿元。今年有望成为规上企业，明年产值将达到5000万元到1亿元。”哈尔滨工业大学(深圳)教授、鹏城微纳技术(沈阳)有限公司（以下简称：鹏城微纳）技术总监吴向方近日在接受采访时介绍，鹏城微纳立足于市场前沿、产业前沿和技术前沿的交叉点，解决微纳产业“卡脖子”问题和国产化难题。企业的快速发展，有望推动沈阳微纳产业驶上发展的快车道。

热烈欢迎沈阳市科技局局长李莹一行等领导莅临鹏城微纳参观指导2023-07-20

2023年7月12日，辽宁省深圳市科技局领导干部一行来到鹏城微纳技术（沈阳）有限公司（简称：鹏城微纳）考察指导工作，鹏城微纳总经理吴向方接待并陪同领导视察。

【喜讯】鹏城微纳荣获诚信企业及AAA级企业信用等级证书2023-06-21

良好的信用是企业的核心竞争力，是企业的“金名片”，更是客户的“安心石”2023年06月，鹏城微纳技术（沈阳）有限公司 (简称：鹏城微纳）顺利通过企业信用等级评价认证，经权威机构评审，鹏城微纳体喜获“AAA级企业信用等级”证书及“AAA信用企业等级”牌匾。

鹏城半导体携热丝法CVD金刚石等解决方案亮相第三代半导体前沿趋势研讨会2023-06-19

随着全球宏观环境的逐步恢复，第三代半导体产业于2023年迈向新的发展高峰，值此之际，TrendForce集邦咨询于6月15日在深圳举办了“2023第三代半导体前沿趋势研讨会”，汇聚了海内外第三代半导体先进企业代表，以及科研院校和媒体界的众多菁英，共同探讨第三代半导体产业的现状，展望未来。鹏城半导体作为半导体薄膜解决方案创新引领者，应邀出席了2023集邦咨询第三代半导体前沿趋势研讨会。

沈阳大东区区长王林祥深入沈阳大学科技产业园调研驻区科技创新企业-鹏城微纳2023-06-15

近日，辽宁省沈阳市大东区委副书记，政府党组书记、区长王林祥来到沈阳大学科技产业园暨微纳产业园调研走访，了解驻区科技企业运行和科技创新、产品研发等工作情况，鼓励企业深入贯彻落实党的二十大精神，全力实施创新驱动发展战略，下好创新先手棋，加快科技研发和生产、推进产学研深度融合、招引优质创新人才，积极构建彰显大东特色优势的现代化产业体系，力争把企业园区打造成为具有国际竞争力的科技创新聚集地，为大东区科技产业发展、实现创新突破提供强有力的支撑。

半导体专用热丝法CVD金刚石设备生产厂家《台风快讯》2023-06-14

金刚石是一种典型的多功能极限材料，在电学、光学、热学、力学声学和电化学方面具有优异性能，在众多高新技术领域具有广阔的应用前景。20世纪80年代之后，化学气相沉积（CVD）技术制备金刚石涂层促进了其广泛的应用，引发了席卷全球的“金刚石热”。90年代后，随着金刚石涂层工业化制备技术的出现，金刚石涂层产业开萌生。金刚石涂层工具、金刚石热沉、金刚石光学窗口、金刚石膜基探测器及传感器和金刚石电极等一系列高技术附加值产品开始进入市场，极大地推动了精密加工、生物医学、电化学、传感与探测和半导体等领域的产业升级。

为您提供高性价比HFCVD热丝化学气相沉积设备解决方案《台风新闻》2023-06-08

金刚石作为一种宽带隙半导体材料，具有优异的物理化学性能，在高温高频、大功率电子器件等高新技术领域有极大的应用潜力。但目前缺乏有效实用的n型导电材料，制约了金刚石半导体在电子领域中的应用。众多研究者寻找有利于获得低电阻率n型金刚石的杂质元素和掺杂方法。

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